產(chǎn)品用途

CY-CT1200C-S型微波CVD系統(tǒng)是一款微波快速加熱的真空氣氛管式爐。具有真空、可控氣氛及高溫的實驗環(huán)境，適用于CVD工藝，如碳化硅鍍膜、陶瓷基片導電率測試、ZnO納米結構可控生長、陶瓷電容氣氛燒結、氧化石墨烯還原膨化等實驗

產(chǎn)品特點

● 一體化設計、設備與真空氣氛配套設備集成，安全方便
● 多路質量流量控制系統(tǒng)，裝料出料方便，只需一個卡箍即可完成
● 國際品牌控制系統(tǒng)，穩(wěn)定可靠
● 工業(yè)級微波系統(tǒng)，使用穩(wěn)定壽命長
● 物料升溫速度快，可達100℃/min，加熱時間縮短成原來的1/5-1/10
● 真空成型保溫纖維輕質結構，節(jié)能高效
● 7寸大觸摸屏操作，簡單方便
● 非接觸式加熱，材料無污染
● 可選配置高真空系統(tǒng)，采用高壓強、耐沖擊分子泵，防止意外漏氣造成分子泵損壞，延長真空系統(tǒng)壽命
● 預設4條工藝曲線，可適應不同產(chǎn)品工藝條件，隨時保存及調出

產(chǎn)品安全

微波泄漏≤0.01mw/cm2（低于手機平均泄漏值）
報警：設備超溫、磁控管過熱、微波系統(tǒng)故障、壓力過高

型號

CY-CT1200C-S

設備結構

箱式（落地擺放）

電壓

220±10V? ?50Hz

額定功率

3KW

微波功率

0.01～1.4kW? ?連續(xù)可調

微波頻率

2.45GHz

最高溫度

1200℃

使用溫度

≤1100℃

加熱區(qū)長度

150mm

恒溫區(qū)

100mm

爐管直徑

?40mm

升溫速率

≤100℃/min

控溫精度

±1℃

氣路數(shù)量

3（可根據(jù)用戶要求配置）

工作壓力

進氣壓力0.05-0.3MPa

靜態(tài)真空度

中真空：10-100Pa/高真空：10-3Pa

控制程序

手動、恒溫、自控，帶數(shù)據(jù)存儲，導出實驗數(shù)據(jù)；曲線實時顯示，40段可設工藝參數(shù)，預設4條工藝曲線，實驗隨時調出

控制方式

7寸觸摸屏+PLC

微波泄露

＜0.01mw/cm2

報警

設備超溫、磁控管過熱、微波系統(tǒng)故障、壓力過高

設備尺寸

500*1200*1200mm(長×寬×高)

設備配置

1、304不銹鋼爐體1套
2、工業(yè)級微波加熱系統(tǒng)1套
3、保溫模塊1套、爐管2根、料舟4個、堵頭4個
4、三菱品牌PLC?1件、7寸西門子觸摸屏1件
5、氣路總成1套（流量計2只、真空計1套、真空泵1臺、真空閥2個、316L真空接頭法蘭1套、壓力表1個）
6、手持式微波檢漏儀器1件、操作手套1套、不銹鋼料鉤?1把

選配

1、質量流量控制器
2、分子泵

易損品

1、保溫模塊
2、爐管
3、坩堝
4、堵頭

售后服務承諾

1、整機質保1年（易損品除外）
2、上門安裝調試、培訓，免費現(xiàn)場指導用戶物料的微波工藝
3、全國維修，設備報障2小時內響應，需要現(xiàn)場維修，省內24h，省外48h到現(xiàn)場
4、免費控制軟件升級，免費電話或視頻技術培訓，每半年進行電話詢訪